硫酸濃度對銅片失重和反射率的影響曲線示于圖2-5。由圖2-5可見,開始時,隨著硫酸濃度的增大,金屬的失重逐漸減小。這是由于硫酸的少量加入導(dǎo)致了拋光液黏度的增大,阻礙了溶解的Cu2+配離子從金屬表面向本體溶液的擴(kuò)散,因而減緩了銅的溶解。當(dāng)硫酸的濃度在38%以上時,金屬的失重又迅速增大。這可歸結(jié)為高含量的硫酸對金屬銅較強(qiáng)的腐蝕作用。硫酸濃度為38%~42%時,銅片具有最大的光亮度。硫酸濃度過低,拋光液黏度低,不易形成黏液膜,無光亮作用,硫酸濃度過高,金屬表面易過腐蝕,造成光亮度下降。
硝酸濃度對銅片失重和反射率的影響曲線示于圖2-6。由圖2-6可見,既起腐蝕又起光亮作用。隨著硝酸濃度的增大,金屬的溶解量逐漸增大。濃度低時,銅的溶解少,拋光液中Cu2+濃度低,不易在金屬表面附近形成黏液膜,拋光效果差。硝酸濃度高時,金屬表面則易過于腐蝕,光亮度下降。當(dāng)硝酸濃度在4%~8 %之間時,銅表面的反射率最高,光亮度最好。
拋光液中水的含量對銅片失重和反射率的影響曲線示于圖2-7。由圖2-7可見,水的含量同樣影響光亮作用,其含量在47%~50%時,拋光效果最好。水的含量過多,拋光液黏度下降,黏液膜受到破壞,不能得到光亮表面。另外,隨著拋光液中水含量的增加,溶液中酸的濃度被稀釋,減緩了酸對金屬銅的腐蝕作用,造成銅片的溶解減小。
圖2-5 硫酸濃度對銅片失重和反射率的影響
圖2-6 硝酸濃度對銅片失重和反射率的影響
FH-1是一種無機(jī)光亮劑,它的濃度對銅片失重和反射率的影響曲線示于圖2-8。結(jié)果表明,金屬的失重隨FH-1濃度僅有輕微的變化。這表明 FH-1主要起光亮和平整作用。當(dāng)FH-1濃度逐漸增大時,銅片的光亮度逐漸增大,在5%時,光亮度達(dá)最大值。但當(dāng)FH-1濃度繼續(xù)升高時,它開始加速金屬的腐蝕,造成銅表面的光亮度下降。因此,F(xiàn)H-1濃度控制在4%~5%較為適宜。
圖2-7 拋光液中水的含童對銅片失重和反射率的影響
圖2-8 FH-1的濃度對銅片失重和反射率的影響
FH-2是一種有機(jī)緩蝕劑,它的濃度對銅片失重和反射率的影響曲線示于圖2-9。由圖2-9可見,一方面,F(xiàn)H-2具有緩蝕作用,隨FH-2濃度的增大,金屬的失重量逐漸減小。同時,F(xiàn)H-2又具有光亮作用,在0.4g/L~0.6g /L時,光亮度最高。FH-2這兩種作用可歸結(jié)為其在金屬表面的吸附而抑制了銅基體的快速溶解,避免了金屬表面過腐蝕的發(fā)生。當(dāng)其濃度較低時,由于不能完全覆蓋在金屬表面,影響了它的緩蝕和增光作用的發(fā)揮。當(dāng)FH-2的含量在0.4g/L以上時,它在銅表面的吸附已飽和,使金屬的光亮度趨于穩(wěn)定值。
圖2-9 FH-2的濃度對銅片失重和反射率的影響