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單晶金剛石試件的表面清洗方案

發(fā)表時間:2014-11-29

  單晶金剛石試件的表面清洗方案

  當(dāng)拋光表面的粗挺度值非常低吋,表面的吸附能力較強,極易吸附油脂和小顆粒。 圖3.7(a)是拋光后金剛石試件表面吸附油膜的原子力顯微鏡照片。以酒精為溶劑進行超 聲清洗時無法去除油膜。用擦凈紙擦拭后金剛石表面試件表面的原子力顯微鏡照片如圖 3.7(b)所示,可以看出表面有明顯的劃痕。通過加熱方法去除油膜后的金剛石試件表面 的原子力顯微鏡照片如圖3.7(c)所示,可以看出表面仍然吸附著許多小顆粒。剛剛拋光 后的金剛石表面是干凈的,但往往無法立即測量,所以測量前對試件進行清洗顯得尤為 重要。通過大量實驗研究表明,以丙酮為溶劑進行超聲振動清洗10min時,效果最佳。