CMP拋光研磨墊的密度、硬度、厚度、孔隙率、添加成份、微孔溝槽形狀均可按客人要求定做。
拋光墊規(guī)格項目 |
具體內容參數(shù) |
拋光墊常用尺寸 |
圓形片380mm |
圓形片460mm |
圓形片610mm |
圓形片910mm |
方形: 1480×550mm,1480×640mm,1480×1280mm. |
拋光墊常用厚度 |
從0.5mm至10mm,常用厚度:0.8mm、1.0mm、1.5mm、2.0mm、3mm |
專業(yè)提供:背PT雙面膠,刻方格槽、螺紋溝槽。 |
可替代LP66、LP77、LP26、LP57、IC1010、KSP等進口拋光片。
廣泛應用于●精密光學●平板玻璃/ LCD / FPD●存儲磁盤驅動器●半導體陶瓷基板●光學玻璃●LED藍寶石基板●晶體等拋光領域, 可以拋光多種材質的工件如硅片、砷化鎵、石英晶體、藍寶石、金屬、玻璃、半導體陶瓷材料等
產品規(guī)格有:640*640(mm)、700*700(mm)、850*850(mm)、900*900(mm)、1000*1000(mm)、650*1400(mm)、700*1400(mm),圓形拋光墊最大直徑:1250(mm),厚度從0.5-5(mm)。
可提供背膠,刻方格、螺紋溝槽。