單面硅片研磨機主要適用于4-6寸硅片、藍寶石、鍺片、鈮酸鋰、鉭酸鋰、玻璃等片狀硬脆材料的單面高精度平面研磨拋光加工。
單面硅片研磨機主要技術(shù)參數(shù)
1主拋光盤直徑 φ1282mm
2拋光盤直徑 φ485mm
3主拋光盤轉(zhuǎn)速 0~65rpm
4拋光頭轉(zhuǎn)速 0~65rpm
5拋光頭數(shù)量 4
6拋光頭升降氣缸缸徑 φ200mm
7主拋光盤驅(qū)動電機 22kW 1470rpm 380V
8拋光頭驅(qū)動電機 0.75kW×4
9設(shè)備外形尺寸(長×寬×高) 3050 mm×1740 mm×2600 mm
10設(shè)備質(zhì)量 約6500Kg
單面硅片研磨機主要配置
1主減速箱 日本住友
2上盤光頭減速箱 日本住友
3下盤軸承 洛軸
4氣缸 SMC
5 PLC OMRON
6 PT人機界面 OMRON
7變頻器 施耐德
8電磁閥 SMC等
9溫控儀 美國RALTEK
10循環(huán)冷卻機組 中科科儀
11主電機 國產(chǎn)
12按鈕開關(guān) FUJI、OMRON、SCHNEIDER等
單面硅片研磨機的安裝
設(shè)備應(yīng)安裝在地面平坦、遠離振動源、無灰塵煙霧污染的場所。
a 溫度10℃-25℃
b 相對濕度≦95%
c 電源電壓AC 380V ,50Hz
d 壓縮空氣源 0.5-0.6Mpa(必須為干燥的清潔空氣)
單面硅片研磨機能達到的精度
1、基盤端面跳動≤ 0.035mm
2、基盤平面度≤0.025mm
單面硅片研磨機特點
1、主拋光盤及四組拋光頭均采用變頻無級調(diào)速,并能方便設(shè)置四組拋光頭的同步轉(zhuǎn)速,使拋光過程的相對速度協(xié)調(diào)一致;
2、拋光過程采用四段壓力——拋光頭自重、壓力1、壓力2、拋光頭自重,拋光過程時間、壓力轉(zhuǎn)換可按照不同的拋光工藝而設(shè)定,極大地滿足了不同拋光工藝對設(shè)備的要求;
3、整機配套非接觸式主盤溫度檢測裝置,并進行實時顯示;
4、整機采用PLC控制方式,操作方便,顯示豐富,控制先進可靠;
5、主拋光盤內(nèi)設(shè)冷卻水循環(huán)系統(tǒng),可實現(xiàn)拋光盤溫度的精確控制,極大地提高了拋光片質(zhì)量的穩(wěn)定。
6、選用世界知名廠商的外購元器件配套,保證了設(shè)備的運轉(zhuǎn)精度和使用可靠性,其可靠性及精度指標(biāo)完全滿足了藍寶石單面拋光的需求。
氮化硅陶瓷鏡面拋光