雙面拋光機廠家與您分享超精密雙面拋光加工的原理

　　深圳市海德精密機械有限公司專業(yè)致力于超精密研磨拋光設備及相關耗材的自主經營。海德一直定位于研磨整體解決方案供應商角色。公司緊跟市場需求，可向客戶提供平面研磨拋光機，雙面研磨拋光機等系列產品及耗材。產品廣泛應用于超硬材料精密工具加工以及半導體硅晶片、光學玻璃、陶瓷、液晶、手表玻璃、寶石、各種法蘭、閥片、密封件、刀片等金屬及非金屬的零部件;同時海德?lián)碛袕姶蟮募夹g團隊，可根據(jù)客戶要求設計及制作高自動化的非標設備以滿足生產需求海德研磨作為雙面拋光機廠家憑借多年的經驗與您分享超精密雙面拋光加工的原理：

　　超精密雙面拋光加工應用化學機械拋光(cNrn)技術，靠工件、磨粒、拋光液及拋光盤的力學作用，在工件的拋光過程中，產生局部的高溫和高壓，從而使直接的物理化學變化直接發(fā)生在工件與磨粒、拋光液及拋光盤之間，導致工件的表面產生物理化學變化的反應物。由于力學作用與化學作用的重迭，使得工件表面的反應物不斷被磨去，從而使工件表面平滑化[[2]。雙面拋光技術是在單面拋光加工技術的基礎上發(fā)展起來的，由于它在薄片工件的加工過程中能有效地避免應力差與粘結誤差引起的變形問題。

　　因此與單面拋光加工相比，雙面拋光具有加工效率高，表面變形小，易獲得超光滑加工表面的優(yōu)點。

　　一般的超精密雙面拋光系統(tǒng)是由承載工件和下拋光盤的工作臺、施加載荷的上拋光盤、帶動工件旋轉運動的行星輪以及供給拋光液的裝置四大構件組成，系統(tǒng)構造如圖2-1所示。在雙面拋光的過程中，由于拋光液與拋光墊之間的物理運動，導致拋光液內部的化學溶液以及磨粒于工件產生化學變化，同時在上拋光盤對工件的旋轉壓力的作用下，使工件表面產生的化學反應物得到切除。其原理就是，在不斷的化學變化中工件表面生成一種化學膜，同時由于旋轉機械摩擦切除作用去除這一層化學膜，在不停地交替中獲得超精密表面，這種超精密表面加工也被稱為游離磨料的CMP。在這種加工中，不能選用比工件硬度高地磨粒，只能選用硬度比工件軟或是與之相當?shù)哪チ?。在機械與化學的雙重作用下，工件表面不斷生成一層極薄的化學膜，同時又被切除，達到極薄表面的加工，所以可以實現(xiàn)高精度、低表面粗糙度、無表面加工缺陷的工件表面。

　　文章關健字：雙面拋光機、超精密雙面拋光加工

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