磨料對平面拋光效果的影響
發(fā)表時間:2015-01-21
磨料對平面拋光效果的影響
平面拋光過程中磨料的作用是借助于機械力,將晶片表而經(jīng)化學反應后形成的鈍化膜去除,從而達到表而平整化的目的。日前常用的磨料有膠體SiO2 、Al2O3及CeO2等。
磨料的種類決定了磨粒的硬度、尺寸,從而影響拋光效果。拋光鋁實驗中,相對于SiO2、Al2O3磨料能獲得較好的表而平整度,表而刮痕數(shù)量少、尺寸小,其原因是膠體SiO2磨粒尺寸小,拋光時磨料嵌入晶片表面的深度較小,并且在優(yōu)選其它參數(shù)的情況下,也能獲得很高的拋光效率。
磨料的濃度會影響拋光效果。拋光鋁實驗中,隨著磨料 (膠體SiO2)濃度的提高,單位而積參與磨削的磨粒數(shù)日增加,所以拋光效率提高,表而刮痕尺寸緩慢增人或基本保持不變; 但磨料濃度過人時,拋光液的粘性增人,流動性降低,影響加工表而氧化層的有效形成,導致拋光效率降低。磨粒的尺寸也會對拋光效果產(chǎn)生影響,磨粒尺寸越小,表而損傷層厚度小。據(jù)統(tǒng)計,在硅片的精拋過程中,每次磨削層的厚度僅為磨粒尺寸的四分之一。為了有效地減小表而粗糙度和損傷層厚度,通常采用小尺寸的膠體硅(15~20nm)來代替粗拋時的膠體硅(50~70rnm);同時通過加強化學反應及提高產(chǎn)物的排除速度來提高拋光效率。