拋光液的性能直接影響到拋光后工件的表面質(zhì)量,是雙面拋光的關(guān)鍵要素之一。拋光液一般包括超細(xì)的固體磨粒(如納米A120:及Si0:磨粒等)、表面活性劑以及氧化劑和穩(wěn)定劑等幾部分,其中固體磨粒產(chǎn)生切削作用,去除發(fā)生化學(xué)變化需要切除的部位,氧化劑產(chǎn)生化學(xué)腐蝕溶解作用,溶解切屑。在拋光過程中,拋光液中磨粒的種類、形狀、大小、濃度、化學(xué)成分、PH值、粘度、流速和流動的途徑都會對去除速度產(chǎn)生影響。
對不同材料的工件進行拋光時,所需要拋光液的成份、PH值也不盡相同同。PH值影響工件的表面質(zhì)量和去除率表現(xiàn)在對磨料的分解與溶解度、被拋表面刻蝕及氧化膜的形成、懸浮度(膠體穩(wěn)定性)等方面,因此需要嚴(yán)格控制拋光液的PH值。當(dāng)處于拋光氧化物時,拋光液一般選取Si0:作為磨料,PH值控制在10以上;而拋光金屬時,拋光液一般選用酸性的,保證PH值在較小的數(shù)值,以便保持極高的工件去除率。
磨粒按硬度可分為軟磨粒和硬磨粒兩類。常用的磨粒包括氧化鋁系、碳化物系、超硬磨料系和軟磨料系4類。拋光用磨粒需具有下列性能:
(1)磨粒形狀和尺寸均勻一致,保持在一定范圍;
(2)磨粒的熔點要比工件的熔點高;
(3)磨粒能適當(dāng)?shù)仄扑?,使切刃變鋒利;
(4)磨粒在拋光液中容易分散。
一般情況下,當(dāng)磨粒硬度以及尺寸增加時,工件去除率增加,但是同時劃痕增加,工件的表面質(zhì)量下降;而磨粒的尺寸過小時又容易產(chǎn)生凝聚成團的現(xiàn)象,增加工件表面劃痕。當(dāng)拋光液中磨粒的濃度增加時,工件去除率也隨之增加,但當(dāng)磨粒的濃度達到某一數(shù)值時,工件去除率也將停止增加,維持在某一常數(shù),這種現(xiàn)象稱為材料去除飽和,但是由于磨粒濃度增加,工件表面的劃痕反而增加,表面質(zhì)量下降。
研究拋光液的目的是為了找到去除率高、平面度好、膜厚度均勻性好的拋光液,達到機械作用于化學(xué)作用的最佳組合。另外,還需要考慮對拋光機的腐蝕性、易清洗性、廢料的處理費用及安全性等問題。