您好,歡迎光臨深圳市海德精密機(jī)械有限公司官方網(wǎng)站!
?

海德平面研磨機(jī)

美女黄色国产视频_日韩精品在线一区二区_国产亚洲午夜福利在线观看資源免費看_亚洲中文无码91成人丁香_久久不卡AV无码免费播放网站_美女被啪到深处喷水gif动态图视频_大陆一级三级片国语对白_国产免费Av福利在线吧_亚洲国产成人丁香五月激情_无限资源2018第1页在线观看

新聞資訊 News

主頁 > 新聞資訊 > 行業(yè)新聞 > - 行業(yè)新聞

行業(yè)新聞

CMP拋光墊介紹

發(fā)表時(shí)間:2014-11-29

   CMP拋光墊介紹

  1.1 CMP介紹

  CMP是英文Chemical Mechanical Polishing的簡稱,意為化學(xué)機(jī)械拋光,亦稱作化學(xué)機(jī)械研磨,該技術(shù)是化學(xué)拋光與機(jī)械拋光的結(jié)合,在保證材料去除效率的同時(shí),可獲得較完美的表面。CMP技術(shù)在1995年后得到了快速發(fā)展,大量應(yīng)用于半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè),是目前機(jī)械加工中唯一可以實(shí)現(xiàn)表面全局平坦化的技術(shù)。

  1.2 拋光墊介紹

  拋光墊亦可稱作拋光皮、拋光布、拋光片,是拋光的重要耗材之一(表1)。

  表1 拋光主要耗材

編號

耗材名稱

耗材1

拋光墊

耗材2

拋光液

耗材3

金剛石盤

耗材4

拋光頭

耗材5

清洗刷

耗材6

化學(xué)清洗劑

  表2拋光墊分類

分類方法

分類名稱

按是否含有磨料

磨料拋光墊

無磨料拋光墊

 

按材質(zhì)的不同

聚氨酯拋光墊

無紡布拋光墊

復(fù)合型拋光墊

 

按表面結(jié)構(gòu)不同

平面型拋光墊

網(wǎng)格型拋光墊

螺旋型拋光墊

  表3 CMP拋光墊的功能

編號

功能簡述

功能1

把拋光液有效均勻地輸送到拋光墊的不同區(qū)域

功能2

將拋光后的反應(yīng)物、碎屑等順利排出

功能3

維持拋光墊表面的拋光液薄膜,以便化學(xué)反應(yīng)充分進(jìn)行

功能4

保持拋光過程的平穩(wěn)、表面不變形,以便獲得較好的晶片表面形貌

  資料來源 

   2.CMP拋光墊市場情況

  CMP拋光墊主要應(yīng)用于集成電路和藍(lán)寶石領(lǐng)域,技術(shù)壁壘高,國內(nèi)市場基本被外資壟斷。CMP耗材市場整體容量約19億美元,其中集成電路領(lǐng)域約15億美元,藍(lán)寶石領(lǐng)域約4億美元。

  3.CMP拋光墊進(jìn)展情況

  海德CMP拋光墊項(xiàng)目的化學(xué)材料合成路線已基本確定,中試車間已經(jīng)建設(shè)完成,正處于設(shè)備調(diào)試階段。但最終批量投產(chǎn)并無具體時(shí)間表。

  4.潛在風(fēng)險(xiǎn)

  拋光墊市場屬于寡頭競爭格局,進(jìn)入技術(shù)壁壘極高,企業(yè)對各項(xiàng)技術(shù)參數(shù)的掌握和控制非一朝一夕,存在研發(fā)失敗的風(fēng)險(xiǎn),量產(chǎn)時(shí)間表將難以確定。

    更多關(guān)于拋光墊資料