工件的表面質(zhì)量對工件會存在直接影響著工件的鏡面精度以及工件的精度保持性,所以對工件的超精密加工技術(shù),以及獲得滿意的表面質(zhì)量就是一個重點。
加工面的形成情況,在研磨過程中,加工面會產(chǎn)生一定的彈性變形,并最終會導(dǎo)致工件的變形,在研磨的時候,會受到擠壓,而產(chǎn)生一定的塑性變形和彈性變形,由于擠壓力的消失,工件的表面層會最終產(chǎn)生一定的彈性回復(fù)變形,最終在加工工件平面的過程中,工件的表面會產(chǎn)生加工變形。
工件的材料會最終影響工件的表面粗糙度,在超精密研磨加工的過程中,任何的研磨過程中出現(xiàn)突變和干擾都是會反映到加工的表面的形狀的誤差之中的,最終的表面就是表面粗糙度的大小情況。
通常在加工過程中出現(xiàn)突變就會在技術(shù)的材料的表面留下凹坑,工件的表面存在雜質(zhì)粒子也會發(fā)生突變,隨著工件的材料的純度的降低,其工件的表面粗糙度就會上升,工件的合成成分的提高,其工件的表面粗糙度的值也會提高。
工件的研磨拋光設(shè)備的性能會在局部區(qū)域的范圍出現(xiàn)突變,都會使得工件的粗糙度值發(fā)生突變,最終影響工件的加工精度。