拋光機拋光怎樣避免誤差, 拋光機使用雙面拋光法能避免由夾具的粘接誤差及薄片工件兩面的應(yīng)力差引起的變形問題。但工件的厚度只有幾十微米時,工件與拋光盤面緊密接觸會使加工阻力增大,而引起硬脆工件的破損。因此,硬脆材料的薄片現(xiàn)在仍采用單面拋光加工。
為了盡可能排除透鏡拋光機對工人熟練程度的要求,開發(fā)了用修正環(huán)型拋光機的平面加工法,鏡面拋光機其特點是:將切片后的薄片工件粘貼在平行平面夾具上,作為名義大口徑厚工件加工,并通過修正環(huán)的旋轉(zhuǎn)來實時連續(xù)修正拋光盤的平面度。
這種加工方法,可通過理論公式推導(dǎo)出高精度的平面加工條件,并可通過在粘接工件薄片的加工夾具上附加一個與加工夾具同一直徑的斜切圓柱體砝碼來修正平行度。其可操作性好,修正效果的再現(xiàn)性也高,可用于水晶片、鈮酸鋰基片、鉭酸鋰基片、硅片等平面晶體工件的加工。
在傳統(tǒng)的鏡面拋光機上用軟質(zhì)拋光盤進行高精度平面拋光時,由于拋光盤面的變形和磨損,通常需憑工人的經(jīng)驗頻繁地將拋光盤在標準平板上進行手工對研,以修正拋光盤面的變形,實現(xiàn)高精度的平面加工。