首先,進行粘樣。將載樣塊、石英薄片放到 MTI-250 型加熱平臺 上進行加熱。待載樣塊達到80℃時,其上面均勻地涂上石蠟,再將薄片等分放載樣塊上,輕輕擠壓,以便排除氣泡及多余石蠟。取下載樣塊,上面壓上稍有重力物體進行冷卻(避免薄片各部分或所有薄片不同一平面),然后使用酒精將薄片邊緣多余石蠟清理干凈,以避免與磨料發(fā)生交叉污染。
其次,調(diào)節(jié)研磨拋光機。將兩個支撐臂松開,移至機體外側,用鑄鐵花盤上三個定位銷對準機體托盤上三個安裝孔,放實。移回兩個支撐臂,調(diào)節(jié)兩個支撐滾輪至合適角度(90°~150°間),使載物塊套上修盤環(huán)后可以其順暢運轉。上下移動支撐臂,使不可滑動臂上支撐滾輪位于修盤環(huán)高度二分之一附近。以修盤環(huán)位置為基準調(diào)整支撐臂軸向位置,當支撐臂移動至最外側時,使修盤環(huán)能夠探出研磨盤;當支撐臂移動至最內(nèi)側時,使修盤環(huán)能夠經(jīng)過研磨盤心,鎖緊固定螺絲即可。將裝有W14剛玉磨料SKZD-2型滴料器,放置研磨拋光機后方平臺上,調(diào)整好滴料管位置。然后調(diào)節(jié)研磨拋光機定時器表盤右下角定時單位螺絲旋鈕,選擇 min,調(diào)節(jié)左下角定時范圍螺絲旋鈕,選擇0~30范圍,再轉動紅色指針至20。打開 滴料器 ,鑄鐵花盤上滴上適量磨料后,放上空載物塊并套上修盤環(huán)。將研磨拋光機轉數(shù)調(diào)整旋鈕進行歸零后(每次啟動機器前都要進行歸零操作,避免造成下一次開機時誤操作)打開機器,轉數(shù)調(diào)節(jié)為35rpm,打開支撐臂開關,調(diào)節(jié)至最大速度,即開始對鑄鐵花盤進行修盤(為了去除盤上附有其他粒度磨料及雜物)。修盤結束后,用清水清洗鑄鐵花盤、載物塊、修盤環(huán),再將鑄鐵花盤安裝好。
然后,進行薄片研磨。將粘有石英礦薄片載物塊倒置鑄鐵花盤上,套上修盤環(huán)。轉動定時器紅色指針至30 min(具體研磨時間要根據(jù)薄片表面平整度決定,表面線痕去掉即可)。歸零后開機,調(diào)節(jié)轉數(shù)為35rpm,調(diào)節(jié)支撐臂速度,使載物塊橫向往復移動,以保證薄片研磨均勻性。待薄片研磨達到要求時,取下載物塊、修盤環(huán)鑄鐵花盤用清水清洗。再換用裝有W7剛玉磨料SKZD-2型滴料器進行再次修盤。修盤、清洗完成后,進行第二次研磨,定時時間選擇為15min,轉數(shù)調(diào)節(jié)為35rpm。研磨結束后,用清水清洗粘有薄片載物塊、修盤環(huán)、鑄鐵花盤(將其吹干后,進行涂油保養(yǎng),以備后用),再使用酒精清洗薄片及其周圍。
最后,進行薄片拋光。將聚氨酯拋光墊粘貼磨拋底片上,粘貼時要均勻攤開拋光墊,以便消除粘合面氣泡,保證拋光面平整度。再將磁力墊粘貼鋁盤上,并按照安裝鑄鐵花盤方法安裝鋁盤,然后將粘好拋光墊磨拋底片安放上面。將裝有W0.75氧化鈰拋光液SKZD-3型滴料器放置研磨拋光機后方平臺上,調(diào)節(jié)好位置。然后使用修鑄鐵花盤方法對拋光墊進行修墊,定時器選擇5min,轉數(shù)選擇80 rpm。待修墊完成后,用清水清洗拋光墊、載物塊、修盤環(huán)。安裝好拋光墊后,再依次將粘有石英礦薄片載樣塊、修盤環(huán)放拋光墊上,定時時間選擇為 25min,調(diào)節(jié)轉數(shù)為110rpm,打開支撐臂開關,調(diào)節(jié)至最大速度,即開始對薄片進行拋光。
拋光完成后,用清水清洗載物塊,然后放到加熱平臺加熱,分離石英礦薄片載物塊,用酒精清洗薄片即可。